Ang kahalagahan ng high-purity gas piping sa semiconductors

As semiconductorat ang mga microelectronic na teknolohiya ay bubuo tungo sa mas mataas na pagganap at mas mataas na pagsasama, mas mataas na mga kinakailangan ang inilalagay sa kadalisayan ng mga electronic na espesyal na gas. Ang high-purity gas piping technology ay isang mahalagang bahagi ng high-purity gas supply system. Ito ang pangunahing teknolohiya para sa paghahatid ng mga high-purity na gas na nakakatugon sa mga kinakailangan sa mga punto ng paggamit ng gas habang pinapanatili pa rin ang kwalipikadong kalidad.

Kasama sa teknolohiya ng high-purity na piping ang tamang disenyo ng system, ang pagpili ng mga pipe fitting at auxiliary na materyales, konstruksiyon at pag-install at pagsubok.

01Pangkalahatang konsepto ng gas transmission piping

Ang lahat ng mga gas na may mataas na kadalisayan at mataas na kalinisan ay kailangang dalhin sa terminal gas point sa pamamagitan ng mga pipeline. Upang matugunan ang mga kinakailangan sa kalidad ng proseso para sa gas, kapag ang index ng pag-export ng gas ay tiyak, mas kinakailangan na bigyang pansin ang pagpili ng materyal at kalidad ng konstruksiyon ng sistema ng tubo. Bilang karagdagan sa katumpakan ng produksyon ng gas o kagamitan sa paglilinis, ito ay higit na apektado ng maraming mga kadahilanan ng sistema ng pipeline. Samakatuwid, ang pagpili ng mga tubo ay kailangang sumunod sa mga nauugnay na prinsipyo ng industriya ng paglilinis at markahan ang materyal ng mga tubo sa mga guhit.

02Ang kahalagahan ng mga pipeline na may mataas na kadalisayan sa transportasyon ng gas

Ang kahalagahan ng mga pipeline na may mataas na kadalisayan sa transportasyon ng gas na may mataas na kadalisayan Sa panahon ng proseso ng pagtunaw ng hindi kinakalawang na asero, ang bawat tonelada ay maaaring sumipsip ng halos 200g ng gas. Matapos maproseso ang hindi kinakalawang na asero, hindi lamang ang iba't ibang mga pollutant ay natigil sa ibabaw nito, kundi pati na rin ang isang tiyak na halaga ng gas ay nasisipsip sa metal na sala-sala nito. Kapag may daloy ng hangin na dumadaan sa pipeline, ang bahagi ng gas na hinihigop ng metal ay muling papasok sa daloy ng hangin at dudumhan ang purong gas.

Kapag ang airflow sa pipe ay hindi natuloy, ang pipe ay bumubuo ng pressure adsorption sa gas na dumadaan. Kapag huminto ang pagdaloy ng hangin, ang gas na na-adsorbed ng tubo ay bumubuo ng pagsusuri sa pagbabawas ng presyon, at ang nasuri na gas ay pumapasok din sa purong gas sa tubo bilang isang karumihan.

Kasabay nito, ang ikot ng adsorption at pagsusuri ay magiging sanhi ng metal sa panloob na ibabaw ng tubo upang makagawa ng isang tiyak na halaga ng pulbos. Ang metal dust particle na ito ay nagpaparumi rin sa purong gas sa tubo. Ang katangiang ito ng tubo ay napakahalaga. Upang matiyak ang kadalisayan ng dinadalang gas, hindi lamang kinakailangan na ang panloob na ibabaw ng tubo ay may napakataas na kinis, ngunit dapat din itong magkaroon ng mataas na paglaban sa pagsusuot.

Kapag ang gas ay may malakas na mga katangian ng kinakaing unti-unti, ang mga hindi kinakalawang na asero na tubo na lumalaban sa kaagnasan ay dapat gamitin para sa piping. Kung hindi man, lilitaw ang mga corrosion spot sa panloob na ibabaw ng pipe dahil sa kaagnasan. Sa mga malalang kaso, ang malalaking piraso ng metal ay lalabas o mabubutas, at sa gayo'y mahahawa ang purong gas na dinadala.

03Materyal na tubo

Ang pagpili ng materyal ng tubo ay kailangang mapili ayon sa mga pangangailangan ng paggamit. Ang kalidad ng tubo ay karaniwang sinusukat ayon sa pagkamagaspang ng panloob na ibabaw ng tubo. Kung mas mababa ang pagkamagaspang, mas maliit ang posibilidad na magdala ng mga particle. Karaniwang nahahati sa tatlong uri:

Ang isa ayEP grade 316L pipe, na electrolytically polished (Electro-Polish). Ito ay lumalaban sa kaagnasan at may mababang pagkamagaspang sa ibabaw. Ang Rmax (maximum na rurok hanggang sa taas ng lambak) ay humigit-kumulang 0.3μm o mas kaunti. Ito ang may pinakamataas na flatness at hindi madaling bumuo ng micro-eddy currents. Alisin ang mga kontaminadong particle. Ang reaksyon gas na ginamit sa proseso ay dapat na piped sa antas na ito.

Ang isa ay aBA grade 316Lpipe, na ginagamot ng Bright Anneal at kadalasang ginagamit para sa mga gas na nakikipag-ugnayan sa chip ngunit hindi nakikilahok sa proseso ng reaksyon, tulad ng GN2 at CDA. Ang isa ay AP pipe (Annealing & Picking), na hindi espesyal na ginagamot at karaniwang ginagamit para sa mga double set ng mga panlabas na tubo na hindi ginagamit bilang mga linya ng supply ng gas.

04 Konstruksyon ng pipeline

Ang pagproseso ng bibig ng tubo ay isa sa mga pangunahing punto ng teknolohiyang ito ng konstruksiyon. Ang pagputol ng pipeline at prefabrication ay isinasagawa sa isang malinis na kapaligiran, at sa parehong oras, sinisiguro na walang mga nakakapinsalang marka o pinsala sa ibabaw ng pipeline bago putulin. Ang mga paghahanda para sa pag-flush ng nitrogen sa pipeline ay dapat gawin bago buksan ang pipeline. Sa prinsipyo, ang hinang ay ginagamit upang ikonekta ang mataas na kadalisayan at mataas na kalinisan ng paghahatid ng gas at pamamahagi ng mga pipeline na may malaking daloy, ngunit ang direktang hinang ay hindi pinapayagan. Ang mga casing joint ay dapat gamitin, at ang pipe material na ginamit ay kinakailangang walang pagbabago sa istraktura sa panahon ng hinang. Kung ang materyal na may masyadong mataas na nilalaman ng carbon ay hinangin, ang air permeability ng welding na bahagi ay magiging sanhi ng pagpasok ng gas sa loob at labas ng pipe sa isa't isa, na sinisira ang kadalisayan, pagkatuyo at kalinisan ng conveying gas, na hahantong sa malubhang kahihinatnan at makakaapekto sa kalidad ng produksyon.

Sa buod, para sa high-purity na gas at mga espesyal na gas transmission pipeline, dapat gumamit ng isang espesyal na ginagamot na high-purity na hindi kinakalawang na steel pipe, na ginagawang ang high-purity pipeline system (kabilang ang mga pipeline, pipe fitting, valve, VMB, VMP) ay sumasakop sa isang mahalagang misyon sa high-purity na pamamahagi ng gas.