As semikondaktorat ang mga teknolohiyang microelectronic ay umuunlad tungo sa mas mataas na pagganap at mas mataas na integrasyon, mas mataas na mga kinakailangan ang inilalagay sa kadalisayan ng mga elektronikong espesyal na gas. Ang teknolohiya ng high-purity gas piping ay isang mahalagang bahagi ng sistema ng supply ng gas na may mataas na kadalisayan. Ito ang pangunahing teknolohiya para sa paghahatid ng mga gas na may mataas na kadalisayan na nakakatugon sa mga kinakailangan sa mga punto ng paggamit ng gas habang pinapanatili pa rin ang kwalipikadong kalidad.
Kasama sa teknolohiya ng mataas na kadalisayan ng tubo ang tamang disenyo ng sistema, ang pagpili ng mga fitting ng tubo at mga pantulong na materyales, konstruksyon at pag-install at pagsubok.
01Pangkalahatang konsepto ng mga tubo ng transmisyon ng gas
Ang lahat ng mga gas na may mataas na kadalisayan at kalinisan ay kailangang dalhin sa terminal gas point sa pamamagitan ng mga pipeline. Upang matugunan ang mga kinakailangan sa kalidad ng proseso para sa gas, kapag tiyak ang indeks ng pag-export ng gas, mas kinakailangang bigyang-pansin ang pagpili ng materyal at kalidad ng konstruksyon ng sistema ng tubo. Bukod sa katumpakan ng kagamitan sa produksyon o paglilinis ng gas, ito ay higit na naaapektuhan ng maraming salik ng sistema ng pipeline. Samakatuwid, ang pagpili ng mga tubo ay kailangang sumunod sa mga kaugnay na prinsipyo ng industriya ng paglilinis at markahan ang materyal ng mga tubo sa mga guhit.
02Ang kahalagahan ng mga pipeline na may mataas na kadalisayan sa transportasyon ng gas
Ang kahalagahan ng mga tubo na may mataas na kadalisayan sa transportasyon ng gas na may mataas na kadalisayan. Sa proseso ng pagtunaw ng hindi kinakalawang na asero, ang bawat tonelada ay maaaring sumipsip ng humigit-kumulang 200g ng gas. Pagkatapos maproseso ang hindi kinakalawang na asero, hindi lamang ang iba't ibang mga pollutant ang nakatambak sa ibabaw nito, kundi pati na rin ang isang tiyak na dami ng gas ay nasisipsip sa metal na sala-sala nito. Kapag may daloy ng hangin na dumadaan sa tubo, ang bahagi ng gas na nasisipsip ng metal ay muling papasok sa daloy ng hangin at magpaparumi sa purong gas.
Kapag ang daloy ng hangin sa tubo ay putol-putol, ang tubo ay bumubuo ng pressure adsorption sa gas na dumadaan. Kapag ang daloy ng hangin ay tumigil sa pagdaan, ang gas na na-adsorb ng tubo ay bumubuo ng pressure reduction analysis, at ang nasuring gas ay pumapasok din sa purong gas sa tubo bilang isang dumi.
Kasabay nito, ang adsorption at analysis cycle ay magiging sanhi ng paggawa ng metal sa panloob na ibabaw ng tubo ng isang tiyak na dami ng pulbos. Ang metal dust particle na ito ay nagpaparumi rin sa purong gas sa tubo. Napakahalaga ng katangiang ito ng tubo. Upang matiyak ang kadalisayan ng dinadalang gas, hindi lamang kinakailangan na ang panloob na ibabaw ng tubo ay may napakataas na kinis, kundi dapat din itong may mataas na resistensya sa pagkasira.
Kapag ang gas ay may malakas na katangiang kinakaing unti-unti, dapat gumamit ng mga tubo na hindi kinakalawang na asero na lumalaban sa kalawang para sa mga tubo. Kung hindi, lilitaw ang mga batik ng kalawang sa panloob na ibabaw ng tubo dahil sa kalawang. Sa mga malalang kaso, ang malalaking piraso ng metal ay matutulis o mabubutas pa nga, kaya naman nahahawa ang purong gas na dinadala.
03Materyal ng tubo
Ang pagpili ng materyal ng tubo ay kailangang piliin ayon sa mga pangangailangan sa paggamit. Ang kalidad ng tubo ay karaniwang sinusukat ayon sa pagkamagaspang ng panloob na ibabaw nito. Kung mas mababa ang pagkamagaspang, mas maliit ang posibilidad na magdala ito ng mga partikulo. Karaniwang nahahati sa tatlong uri:
Ang isa ayTubong EP grade 316L, na pinakintab sa pamamagitan ng electrolysis (Electro-Polish). Ito ay lumalaban sa kalawang at may mababang surface roughness. Ang Rmax (maximum peak to valley height) ay humigit-kumulang 0.3μm o mas mababa pa. Ito ang may pinakamataas na flatness at hindi madaling bumuo ng micro-eddy currents. Alisin ang mga kontaminadong particle. Ang reaction gas na ginamit sa proseso ay dapat na pinadaloy sa antas na ito.
Ang isa ay isangBaitang BA 316Ltubo, na ginagamot gamit ang Bright Anneal at kadalasang ginagamit para sa mga gas na nakadikit sa chip ngunit hindi nakikilahok sa reaksyon ng proseso, tulad ng GN2 at CDA. Ang isa ay ang AP pipe (Annealing & Picking), na hindi espesyal na ginagamot at karaniwang ginagamit para sa dobleng set ng mga panlabas na tubo na hindi ginagamit bilang mga linya ng suplay ng gas.
04 Konstruksyon ng tubo
Ang pagproseso ng bunganga ng tubo ay isa sa mga pangunahing punto ng teknolohiyang ito sa konstruksyon. Ang pagputol at paghahanda ng tubo ay isinasagawa sa isang malinis na kapaligiran, at kasabay nito, tinitiyak na walang mapaminsalang marka o pinsala sa ibabaw ng tubo bago putulin. Dapat ihanda ang paghuhugas ng nitrogen sa tubo bago buksan ang tubo. Sa prinsipyo, ginagamit ang hinang upang ikonekta ang mga tubo ng transmisyon at distribusyon ng gas na may mataas na kadalisayan at kalinisan na may malaking daloy, ngunit hindi pinapayagan ang direktang hinang. Dapat gumamit ng mga casing joint, at ang materyal ng tubo na ginamit ay kinakailangang walang pagbabago sa istraktura habang hinang. Kung ang materyal na may masyadong mataas na nilalaman ng carbon ay hinang, ang air permeability ng bahagi ng hinang ay magiging sanhi ng pagtagos ng gas sa loob at labas ng tubo sa isa't isa, na sisira sa kadalisayan, pagkatuyo at kalinisan ng conveying gas, na hahantong sa mga malubhang kahihinatnan at makakaapekto sa kalidad ng produksyon.
Sa buod, para sa mga pipeline ng transmisyon ng gas na may mataas na kadalisayan at mga espesyal na gas, dapat gamitin ang isang espesyal na ginagamot na tubo na hindi kinakalawang na asero na may mataas na kadalisayan, na ginagawang ang sistema ng pipeline na may mataas na kadalisayan (kabilang ang mga pipeline, mga fitting ng tubo, mga balbula, VMB, VMP) ay sumasakop sa isang mahalagang misyon sa pamamahagi ng gas na may mataas na kadalisayan.
Oras ng pag-post: Nob-26-2024