1. Kahulugan ng Sistema ng Bulk Gas:
Pag-iimbak at pagkontrol ng presyon ng mga inert gas Mga uri ng gas: Karaniwang mga inert gas (nitrogen, argon, compressed air, atbp.)
Laki ng tubo: Mula 1/4 (pipeline na pangmonitor) hanggang 12-pulgadang pangunahing tubo
Ang mga pangunahing produkto ng sistema ay: diaphragm valve/bellows valve/ball valve, high-purity connector (VCR, welding form), ferrule connector, pressure regulating valve, pressure gauge, atbp.
Sa kasalukuyan, kasama rin sa bagong sistema ang isang bulk special gas system, na gumagamit ng mga fixed gas cylinder o tank truck para sa pag-iimbak at transportasyon.
2. Kahulugan ng Sistema ng Paglilinis:
Pag-alis ng mga dumi mula sa mga bulk gas para sa mga high-purity gas pipeline
3. Kahulugan ng mga Kabinet na Gas:
Magbigay ng kontrol sa presyon at pagsubaybay sa daloy para sa mga espesyal na pinagmumulan ng gas (nakakalason, nasusunog, reaktibo, at kinakaing unti-unting gas), at may kakayahang palitan ang mga silindro ng gas.
Lokasyon: Matatagpuan sa sahig ng Sub-fab o sa pinakamababang palapag para sa pag-iimbak ng mga espesyal na gas. Pinagmulan: NF3, SF6, WF6, atbp.
Laki ng tubo: Panloob na tubo ng gas, karaniwang 1/4 pulgada para sa tubo ng proseso, 1/4-3/8 pulgada pangunahin para sa tubo ng paglilinis ng nitrogen na may mataas na kadalisayan.
Mga Pangunahing Produkto: Mga balbulang diaphragm na may mataas na kadalisayan, mga check valve, mga pressure gauge, mga pressure gauge, mga konektor na may mataas na kadalisayan (VCR, anyong hinang). Ang mga gas cabinet na ito ay karaniwang naglalaman ng mga awtomatikong kakayahan sa pagpapalit para sa mga silindro upang matiyak ang patuloy na suplay ng gas at ligtas na pagpapalit ng mga silindro.
4. Kahulugan ng Distribusyon:
Pagkonekta ng pinagmumulan ng gas sa gas collection coil
Laki ng Linya: Sa pabrika ng chip, ang laki ng pipeline ng pamamahagi ng bulk gas sa pangkalahatan ay mula 1/2 pulgada hanggang 2 pulgada.
Uri ng koneksyon: Ang mga espesyal na pipeline ng gas ay karaniwang konektado sa pamamagitan ng hinang, nang walang anumang mekanikal na koneksyon o iba pang gumagalaw na bahagi, pangunahin dahil ang koneksyon sa hinang ay may matibay na pagiging maaasahan ng pagbubuklod.
Sa isang pabrika ng chip, may daan-daang kilometro ng mga tubo na konektado upang magpadala ng gas, na karaniwang may habang 20 talampakan at magkasamang hinang. Karaniwan din ang ilang mga tubing bends at tubular welding connections.
5. Kahon ng balbula na maraming gamit (Valve Manifold Box, VMB) Kahulugan:
Ito ay upang ipamahagi ang mga espesyal na gas mula sa pinagmumulan ng gas patungo sa iba't ibang dulo ng kagamitan.
Laki ng panloob na tubo: 1/4 pulgadang tubo ng proseso, at 1/4 - 3/8 pulgadang tubo ng paglilinis. Maaaring gumamit ang sistema ng kontrol sa computer upang mangailangan ng mga balbulang pinapagana o mas mababang gastos sa mga sitwasyon na may manu-manong balbula.
Mga produkto ng sistema: mga balbulang diaphragm/bellows na may mataas na kadalisayan, mga balbulang check, mga joint na may mataas na kadalisayan (VCR, micro-welding form), mga balbulang nagreregula ng presyon, mga pressure gauge at pressure gauge, atbp. Para sa pamamahagi ng ilang inert gas, ang Valve Manifold Panel - VMP (multi-function valve disc) ang pangunahing ginagamit, na may bukas na ibabaw ng gas disc at hindi nangangailangan ng disenyo ng saradong espasyo at karagdagang nitrogen purge.
6. Pangalawang plato/kahon ng balbula (Tool Hookup Panel) Kahulugan:
Ikonekta ang gas na kailangan ng kagamitang semiconductor mula sa pinagmumulan ng gas patungo sa dulo ng kagamitan at magbigay ng kaukulang regulasyon ng presyon. Ang panel na ito ay isang sistema ng pagkontrol ng gas na mas malapit sa dulo ng kagamitan kaysa sa VMB (multi-function valve box).
Laki ng tubo ng gas: 1/4 - 3/8 pulgada
Laki ng tubo ng likido: 1/2 - 1 pulgada
Laki ng tubo ng paglabas: 1/2 - 1 pulgada
Mga pangunahing produkto: diaphragm valve/bellows valve, one-way valve, pressure regulating valve, pressure gauge, pressure gauge, high-purity joint (VCR, micro-welding), ferrule joint, ball valve, hose, atbp.
Oras ng pag-post: Nob-22-2024