1. Kahulugan ng Bulk Gas System:
Pag-imbak at kontrol ng presyon ng mga inert gas Mga uri ng gas: Mga karaniwang inert na gas (nitrogen, argon, compressed air, atbp.)
Laki ng pipeline: Mula 1/4 (monitoring pipeline) hanggang 12-inch na pangunahing pipeline
Ang mga pangunahing produkto ng system ay: diaphragm valve/bellows valve/ball valve, high-purity connector (VCR, welding form), ferrule connector, pressure regulating valve, pressure gauge, atbp.
Sa kasalukuyan, kasama rin sa bagong sistema ang isang bulk na espesyal na sistema ng gas, na gumagamit ng mga fixed gas cylinder o tank truck para sa imbakan at transportasyon.
2. Depinisyon ng Sistema ng Paglilinis:
Pag-alis ng mga impurities mula sa mga bulk gas para sa high-purity na mga pipeline ng gas
3. Kahulugan ng Gas Cabinets:
Magbigay ng kontrol sa presyon at pagsubaybay sa daloy para sa mga espesyal na pinagmumulan ng gas (nakakalason, nasusunog, reaktibo, kinakaing unti-unti na mga gas), at may kakayahang palitan ang mga silindro ng gas.
Lokasyon: Matatagpuan sa Sub-fab floor o sa ibabang palapag para sa pag-iimbak ng mga espesyal na gas Pinagmulan: NF3, SF6, WF6, atbp.
Laki ng pipeline: Panloob na pipeline ng gas, karaniwang 1/4 pulgada para sa pipeline ng proseso, 1/4-3/8 pulgada pangunahin para sa high purity nitrogen purge pipeline.
Pangunahing produkto: High purity diaphragm valves, check valves, pressure gauge, pressure gauge, high purity connectors (VCR, welding form) Ang mga gas cabinet na ito ay karaniwang naglalaman ng mga kakayahan sa awtomatikong paglipat para sa mga cylinder upang matiyak ang tuluy-tuloy na supply ng gas at ligtas na pagpapalit ng mga cylinder.
4. Kahulugan ng Pamamahagi:
Pagkonekta ng gas source sa gas collection coil
Laki ng linya: Sa chip factory, ang laki ng bulk gas distribution pipeline ay karaniwang mula 1/2 pulgada hanggang 2 pulgada.
Form ng koneksyon: Ang mga espesyal na pipeline ng gas ay karaniwang konektado sa pamamagitan ng hinang, nang walang anumang mekanikal na koneksyon o iba pang gumagalaw na bahagi, higit sa lahat dahil ang welding connection ay may malakas na sealing reliability.
Sa isang pabrika ng chip, may daan-daang kilometro ng tubing na konektado upang magpadala ng gas, na karaniwang mga 20 talampakan ang haba at pinagsasama-sama. Ang ilang tubing bends at tubular welding connections ay karaniwan din.
5. Multi-function na valve box (Valve Manifold Box, VMB) Depinisyon:
Ito ay upang ipamahagi ang mga espesyal na gas mula sa pinagmumulan ng gas sa iba't ibang dulo ng kagamitan.
Laki ng panloob na pipeline: 1/4 inch na proseso ng pipeline, at 1/4 - 3/8 inch na purge pipeline. Ang system ay maaaring gumamit ng kontrol sa computer upang mangailangan ng mga naka-activate na balbula o mas mababang gastos na mga sitwasyon na may mga manu-manong balbula.
Mga produkto ng system: high purity diaphragm valves/bellows valves, check valves, high purity joints (VCR, micro-welding form), pressure regulating valves, pressure gauge at pressure gauge, atbp. Para sa pamamahagi ng ilang inert gas, ang Valve Manifold Panel - Pangunahing ginagamit ang VMP (multi-function valve disc), na may bukas na gas disc surface at hindi nangangailangan ng closed space na disenyo at karagdagang nitrogen purge.
6. Pangalawang balbula plate/kahon (Tool Hookup Panel) Depinisyon:
Ikonekta ang gas na kinakailangan ng kagamitang semiconductor mula sa pinagmumulan ng gas patungo sa dulo ng kagamitan at magbigay ng kaukulang regulasyon ng presyon. Ang panel na ito ay isang gas control system na mas malapit sa dulo ng kagamitan kaysa sa VMB (multi-function valve box).
Laki ng pipeline ng gas: 1/4 - 3/8 pulgada
Laki ng pipeline ng likido: 1/2 - 1 pulgada
Laki ng pipeline ng discharge: 1/2 - 1 pulgada
Mga pangunahing produkto: diaphragm valve/bellows valve, one-way valve, pressure regulating valve, pressure gauge, pressure gauge, high-purity joint (VCR, micro-welding), ferrule joint, ball valve, hose, atbp.
Oras ng post: Nob-22-2024